基于六维机械手的硅片传输系统

摘要：

详细介绍了如何选择满足CMP抛光机硅片传输系统要求的六维机械手,并基于所选择的六维机械手配合换枪盘、末端执行器构建了硅片干进湿出式传输系统,最终利用示教盒示教出一条无碰撞、姿态合理的运动路径。

关键词：IC、CMP、硅片传输系统、六维机械手

所属期刊栏目：40

分类号：TP215(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：15-18