全自动晶圆划片机S运动曲线规划与分析

摘要：

针对全自动划片机运动控制系统的特点,对S运动曲线加减速算法进行了深入分析,推导出S曲线加减速的计算公式,并通过试验仿真进行验证,根据分析结果得出S曲线是一种适合全自动划片机高速高精度运动的加减速算法。

关键词：全自动、晶圆、划片机、S曲线

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.1(半导体技术)

资助基金：国家重大专项课题2009ZX02010-17

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14