光刻设备中硅片预对准的算法模型分析

摘要：

分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。

关键词：硅片传输、预对准、硅片、缺口

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：7-10,30