半导体设备中铝合金精密零件尺寸稳定性工艺研究

摘要：

通过对半导体设备中LY12铝合金类高精度、薄壁零件的尺寸稳定性研究,分析了影响零件尺寸稳定性的因素,选取了一道人工时效处理和三道各循环三次的冷热循环稳定处理工艺方案,使整个零组件从加工、装配、产品测试到库存,再到成品试验的自然时效时间内,原加工精度经过再次复测,没有发生变化。

关键词：LY12硬铝合金、“CZ”状态、冷热循环稳定处理

所属期刊栏目：40

分类号：TH161.11

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：51-53