投影光刻机中PDP-11主控制计算机系统的替换

摘要：

介绍了针对早期的投影光刻机存在PDP-11计算机速度慢,控制系统难操作的问题,利用普通PC机通过GPIB卡替换了PDP-11计算机,使用VB语言编写的程序替换了主控制系统程序。

关键词：PDP-11计算机、GPIB卡、投影光刻机、VB

所属期刊栏目：40

分类号：TP303(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-40