模块化设计在半导体湿法清洗设备中的应用

摘要：

论述了半导体湿法清洗设备的特点及模块化设计方法在半导体湿法清洗设备中的应用方式,阐明了模块化设计方法在半导体湿法清洗设备中应用的特点及注意事项。

关键词：半导体湿法清洗、模块化设计、供货周期

所属期刊栏目：40

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-22