蓝宝石晶体生长工艺及设备

摘要：

介绍了蓝宝石单晶的性质和应用领域,对泡生法、VHGF法等蓝宝石单晶生长工艺进行了说明,对蓝宝石单晶生长工艺及设备的国内外发展趋势进行了探讨。

关键词：蓝宝石、单晶、生长、工艺、设备

所属期刊栏目：40

分类号：TN304.053(半导体技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：7-10,22