双高斯复杂化结构显微物镜设计

摘要：

介绍了一种用于曝光机的对准显微物镜设计及结果分析,物镜采用共轭距无限远类型,针对传统的用于照相的双高斯结构进行了复杂化设计,并对光学系统进行了优化,实现了长工作距离、平场和长景深.

关键词：曝光机、对准显微物镜、共轭距无限远类型、双高斯结构

所属期刊栏目：40

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15