掩模版升降定位存取机构

摘要：

针对90 nm及以下线宽光刻设备对掩模版升降定位存取机构功能和性能的需求,确定了掩模版升降定位存取机构的基本构架,并对机构进行了设计.

关键词：掩模版、升降机构、定位存取机构、锁定、解锁

所属期刊栏目：40

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-12,15