区熔硅单晶掺杂技术概述

摘要：

区熔硅单晶是制作电力电子器件的主要原材料,高质量的电力电子器件的发展对区熔硅单晶的高完整性、高纯度、高均匀性及大直径化提出了较高的要求.随着电力电子器件快速发展,市场需求急剧增加,为了深入的研究并应用掺杂技术,对几种掺杂工艺进行了分析和探讨.

关键词：区熔、硅单晶、掺杂

所属期刊栏目：40

分类号：TN304.05(半导体技术)

在线出版日期：2011-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：52-54