热声焊机超声系统的设计和优化

摘要：

热声焊机是微电子封装领域的关键设备,其超声系统性能的优劣直接影响着键合质量和键合速度.简要介绍超声系统各组成部件在设计中所可能受到的影响因素,以及系统整体如何协调,使之到达最佳匹配,从而提高设备的键合质量和键合速度.

关键词：热声焊机、超声系统、键合质量、键合速度

所属期刊栏目：40

分类号：TN948.43

在线出版日期：2011-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：48-51