高频线圈坡面对生长FZ单晶的影响

摘要：

通过对高频线圈下坡面对生长FZ单晶的作用,分析了不同坡面线圈的磁力分布,以及磁力在单晶生长过程中的作用.线圈下面坡度的大小,会产生分布不同的磁力,在FZ单晶生长时,磁力对固液交界面的外边缘有重要的影响.分析认为采用下坡度合适的加热线圈,可以有利于单晶的顺利生长,提高单晶的成功率.

关键词：FZ单晶、高频线圈、磁力

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2011-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28