自动排片机在IC芯片分选中的应用研究

摘要：

介绍了针对排片机(又称挑粒机)将IC芯片与蓝膜分离并置于片盒中的过程中,如何控制拾取与放置的动作,以及芯片取放过程中的时间、真空和压力控制.

关键词：排片机、真空、压力、控制

所属期刊栏目：40

分类号：TN605(电子元件、组件)

资助基金：国家863项目2009AA043103

在线出版日期：2011-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-24,33