微机电系统技术的研究现状和展望

摘要：

微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统.介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望.

关键词：微机电系统、微加工技术、片上系统、加速度计

所属期刊栏目：40

分类号：TN409(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2011-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1-8,46