碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌的影响

摘要：

碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌如粗糙度、显微镜下的表面状况的影响做了研究,通过实验结果给出了特定要求条件下硅片腐蚀的最佳方案.运用硅的化学腐蚀机理分析了表面腐蚀状况的原因.

关键词：腐蚀、表面形貌、硅片

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2011-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30