紫外激光在精细加工中的应用研究

摘要：

论述了紫外激光加工原理,分析了其优缺点.并使用紫外脉冲激光对LTCC生瓷片、蓝宝石晶圆片、太阳能单晶硅片等材料进行了初步的激光划切工艺实验,得到了对这些不同材料加工的一些工艺参数.

关键词：紫外激光、低温共烧陶瓷生瓷片、蓝宝石、单晶硅

所属期刊栏目：40

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：17-20