期刊专题

10.3969/j.issn.1004-4507.2011.01.007

大角度离子注入机的束纯度控制

引用
从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性.

大角度离子注入机、加/减速、多电荷、束线系统、束能量纯度、二次离子质谱分析仪(SIMS)

40

TN305.3(半导体技术)

2011-04-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

21-23

暂无封面信息
查看本期封面目录

电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

40

2011,40(1)

专业内容知识聚合服务平台

国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”

国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304

©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1

信息网络传播视听节目许可证 许可证号:0108284

网络出版服务许可证:(总)网出证(京)字096号

违法和不良信息举报电话:4000115888    举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn

举报专区:https://www.12377.cn/

客服邮箱:op@wanfangdata.com.cn