气动增压泵在单片晶圆清洗过程中的应用

摘要：

主要分析了气动增压泵的组成和工作原理,描述了气动增压泵在单片晶圆清洗过程中的应用特点和优势.介绍了气动增压泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项.

关键词：气动增压泵、单片晶圆清洗、液泵流量、无级控制

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2011-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：18-20