单晶圆兆声清洗技术研究及兆声喷头方案优化

摘要：

基于单晶圆兆声清洗的原理,分析了针对单晶圆兆声清洗的多种方案的优缺点,提出了适合单晶圆兆声清洗的优化方案.

关键词：单晶圆、兆声、清洗

所属期刊栏目：40

分类号：TH132

在线出版日期：2011-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：15-17