3D模块金丝键合在线检测技术研究

摘要：

对金丝键合后键合质量的在线自动快速光学检测的原理、建模和检测成功率进行了概述,同时通过具体案例对金丝键合质量在线检测技术进行了研究.解决了键合质量的自动化在线检测的工程应用,对稳定3D微组装的键合质量起到积极的作用.

关键词：键合、多芯片模块、在线检测

所属期刊栏目：39

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2011-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34