一种掩模版制版用夹具装置的研制

摘要：

介绍了一种掩模版制版用夹具装置,该装置具有准确的定位功能,能够自动补偿片厚误差,可进行真空复印使母掩模版与子掩模版紧密贴附,操作方便等特点.

关键词：制版、定位、片厚补偿、真空复印

所属期刊栏目：39

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2011-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：49-51