半导体设备抓取和放置控制方法研究

摘要：

抓取和放置机构是半导体设备上的关键机构,它的运动时序直接关系到设备运行效率,介绍了半导体设备抓取和放置机构的几种控制方法,通过对几种方法的运行轨迹进行对比,获得并列举了各个方法的优缺点,并给出了应用场合.

关键词：半导体、抓取和放置、控制方法、轨迹规划

所属期刊栏目：39

分类号：TN05(一般性问题)

在线出版日期：2011-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：12-14