蠕动泵原理及在化学机械抛光过程中的应用

摘要：

主要分析了蠕动泵的组成和工作原理,描述了蠕动泵在化学机械抛光过程中的应用特点和优势.详细介绍了蠕动泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项.

关键词：蠕动泵、化学机械抛光、控制、泵头、泵管

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家863项目200945KY02

在线出版日期：2010-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：48-51