大角度离子注入机的束流自动调节

摘要：

阐述了大角度离子注入机的柬流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束.从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍.

关键词：大角度离子注入机、自动束流调节、菜单、固定法拉第杯、均匀性

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2010-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：17-22