太阳能电池生产线中的新型等离子体刻蚀机的研制

摘要：

介绍了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造、简单的工艺试验结果.与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比,它大大提高了生产产能,减少了设备维护工作量.该设备操作简单,是一种实用、高效的生产型工艺设备.

关键词：等离子体、反应离子、刻蚀原理、工艺实验

所属期刊栏目：39

分类号：TM914.4

在线出版日期：2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44