异丙醇在硅碱性腐蚀液中的作用

摘要：

在硅单晶的碱性腐蚀过程中,往往由于碱性腐蚀液对单晶硅的腐蚀速率过快,从而增大了硅单晶片表面的粗糙度.异丙醇有着减缓腐蚀速率的功效因而降低了硅单晶片表面的粗糙度.主要讨论了异丙醇在碱性腐蚀液中的作用原理并对腐蚀实验结果做了分析.

关键词：碱性腐蚀液、异丙醇、粗糙度

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：23-25