PG-510型单面抛光机的研制

摘要：

介绍了针对蓝宝石衬底表面纳米级抛光工艺而研制的PG-510单面抛光机的主要结构及其性能特点,简要论述了抛光过程中各工艺参数的控制方案,并通过实验验证了设备的主要性能指标,能够满足蓝宝石衬底表面纳米级抛光的工艺要求.

关键词：蓝宝石、纳米级抛光、CMP工艺

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家863项目200945KY02

在线出版日期：2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：11-15,19