高产能四管卧式热壁型PECVD设备

摘要：

介绍了北京七星华创电子股份有限公司自主创新产品国内首台带有自动上下料系统的高产能四管卧式热壁型PECVD设备,该设备具有高产能、自动化程度高、成膜质量好、高性价比等特点,并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标.

关键词：PECVD、高产能、自动化程度、性价比

所属期刊栏目：39

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2010-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38