10.3969/j.issn.1004-4507.2010.07.002
大角度离子注入机中的颗粒污染
针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了如何从设计上减少颗粒污染的产生途径以及生产设备怎样预防颗粒污染.
大角度离子注入机、颗粒污染、产生、注入掺杂、预防
39
TN307(半导体技术)
2010-10-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
5-8,51
10.3969/j.issn.1004-4507.2010.07.002
大角度离子注入机、颗粒污染、产生、注入掺杂、预防
39
TN307(半导体技术)
2010-10-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
5-8,51
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn