划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究

摘要：

划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件.从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术.

关键词：空气静压电主轴、空气轴承、主轴电机、动平衡、热变形

所属期刊栏目：39

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项:极大规模集成电路制造装备与成套工艺国家科技重大专项、封装设备关键部件与核心技术项目、高速空气静压电主轴课题2009ZX02021-001

在线出版日期：2010-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20