激光三角法测量技术在光刻机中的应用

摘要：

介绍了激光三角法测量原理和分类,对不同类型进行了分析比较.介绍了CCD的激光三角法高度测量系统在光刻机中的应用及在高度测量时实时和映射两种工作模式.在应用中可以针对不同的测量对象表面的光学特征,使用对应的表格,提高其测量的适应性和测量效率.

关键词：光刻、CCD图像传感器、激光三角法

所属期刊栏目：39

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2010-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37