300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计

摘要：

在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计.

关键词：晶圆传送系统、自动控制、机械手、Turbo PMAC、有限状态机

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2010-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：26-29,37