基于工业以太网的MOCVD反应腔压力控制

摘要：

介绍了一种新型MOCVD反应腔压力控制系统,采用MKS最新蝶阀T3BI,其内部集成了压力控制器,并且带有压力传感器接口.反应腔内目标压力由主控PC通过工业以太网ProfiNet发送到蝶阀,接下来压力控制子系统即可完成整个压力控制过程.

关键词：MOCVD、反应腔、ProfiNet、压力控制

所属期刊栏目：39

分类号：TP393.11(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2010-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38