300 mm立式炉温度控制系统研制

摘要：

针对300 mm立式炉设备,设计、实现了一套温度控制硬件系统.硬件系统由信号采集模块、PLC模块、工控机、控制信号输出模块等组成.同时,根据工艺特性,设计了一套完整的温度控制软件系统,实现了热偶信号的采集补偿、自动温区分布、PID参数自整定、轨迹规划、斜变升温、工艺恒温等一系列系统功能.温度控制及工艺实验结果表明,该温度控制系统在可靠性、稳定性、精度等方面能够满足氧化工艺的需求.现已成功应用于300 mm立式氧化炉设备.

关键词：立式炉、温度控制、PID参数自整定、工艺实验

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.4(半导体技术)

在线出版日期：2010-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-28