4500W超高压汞灯光源控制系统研究

摘要：

简要介绍了用于超大面积光刻设备汞灯光源控制系统的总体控制方案,重点阐述了该控制系统信号放大电路、灯室温度采样放大电路及信号反馈控制方法.

关键词：超高压汞灯、信号放大、温度采样、信号反馈

所属期刊栏目：39

分类号：TM923.322

资助基金："西部之光"计划项目"用于平板显示器制造的反射式大面积照明系统研制"

在线出版日期：2010-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-23,42