张力调节系统在金刚石单线切割设备上的应用

摘要：

金刚石单线切割设备主要是针对碳化硅等其他硬脆材料的切割,在单线切割过程中,切割线张力的突然变化会导致切割质量下降,甚至断线,必须增加张力调节系统,介绍了国内外单线切割设备的张力调节系统.

关键词：单线切割、线张力、张力调节、碳化硅

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2010-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：17-20