晶圆厂信息控制系统介绍

摘要：

信息控制系统(FICS)的集成是晶圆厂生产线集成的主要内容之一.介绍了65 mm级别用于生产微处理器(Microprocessor)的300 mm FAB的FICS架构实例,并就系统集成做了简单的描述,对制造执行系统MES和设备集成系统EI的客户化作了探讨,并介绍了EI部分的架构.

关键词：晶圆厂生产线、信息控制系统、软件集成、制造执行系统、设备集成系统、300mm国际标准、客户化

所属期刊栏目：39

分类号：TP14(自动化基础理论)

在线出版日期：2010-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46