软着陆洁净闭管扩散炉研制

摘要：

介绍了一种用于晶体硅光伏电池片工艺的软着陆洁净闭管扩散炉,着重介绍了设备结构组成及性能,并给出了工艺结果说明设备性能达到国内领先水平.

关键词：软着陆、闭管扩散、扩散炉

所属期刊栏目：39

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2010-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42