一种应用于曝光机的新型z向系统方案及实验研究

摘要：

z向系统是接触式曝光机的关键部件之一.设计了一种曝光机的新型z向系统方案,该方案采用气动控制的方式,通过控制气体压力来调整接触力,用空气轴承导向,完成找平、微分离的自动控制.对z向系统设计原理进行了详细介绍,并通过实验对其部分功能进行了验证.

关键词：z向系统、气动控制、空气轴承

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2010-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40