表面活性剂在P型锗片磨削工艺中的应用

摘要：

由于锗材料具有优良的抗辐射性能,在航天领域获得了新的应用.在锗单晶片的磨削过程中,砂轮磨损产生的颗粒以及磨削下来的锗屑容易将砂轮阻塞,从而对锗单晶片表面的磨削纹路产生影响.通过试验,在去离子水管路上增加一条表面活性剂管路,可有效减少砂轮阻塞现象.降低砂轮修整的频率,提高了锗磨削片的表面质量.

关键词：表面活性剂、锗、表面磨削

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2010-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30