单片湿法刻蚀机供酸管路系统设计

摘要：

介绍湿法刻蚀技术在硅片加工中的应用.重点讨论了湿法刻蚀设备中供应化学液的化学管路系统的设计,管路上主要安装的部件及其功能,以及各部件的布置方式.通过对湿法刻蚀技术中主要工艺参数的影响程度来分析和调整管路上主要部件的使用和布置位置.

关键词：硅片加工、湿法刻蚀、化学管路系统

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2009-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33