LTCC专用烧结炉的研制

摘要：

随着低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)多层基板为适应电子器件向着小型化、高密度、多功能的发展.从而对低温共烧工艺设备的也提出了更为严格的要求.针对目前低温共烧工艺设备的主要特点介绍了低温共烧陶瓷技术中新型烧结炉的研制方案及技术难点.

关键词：LTCC、烧结炉、方案

所属期刊栏目：38

分类号：TF806.1(有色金属冶炼)

在线出版日期：2009-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：16-21,37