状态机在离子注入机中的应用

摘要：

报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因.以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点.

关键词：有限状态机、层次状态机、建模

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2009-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：49-53