静电放电机理、影响及离子发生器在电子设备静电防护上的应用研究

摘要：

静电放电问题是困扰包括半导体晶圆,液晶面板,太阳能模块的生产和加工等众多电子、光电子行业的顽疾.被动防止静电放电需要在加工材料选择,工艺流程优化,生产环境温湿度控制等众多环节加以严格限制,其过程复杂,管控起来难度较大.主动预防静电放电的最佳方式就是采用在电子、光电子加工设备上安置离子发生器中来和电子、光电子器件上的多余电荷.离子发生器的性能特点,参数设置等对电子、光电子设备的静电放电控制起着至关重要的作用.

关键词：离子发生设备、静电放电、电子设备、光电子设备

所属期刊栏目：38

分类号：O441.1;TN606(电磁学、电动力学)

在线出版日期：2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-45