多线切割工艺中切割线直径对翘曲度影响的研究

摘要：

目前,在硅单晶锭切割领域多线切割机已得到广泛的应用.切割砂浆及切割线在切割中有着极其重要的作用,不同的使用条件会直接影响切割晶片的几何参数.主要讨论切割线直径的不同对切割出晶片几何参数的影响.

关键词：多线切割、切割线直径、翘曲度

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19