多晶硅铸锭用坩埚烧结炉的设计

摘要：

多晶硅铸锭时是将硅材料放在一个耐高温容器即坩埚中将硅料熔化、冷却、长晶的过程.装硅料的容器必须耐高温,不挥发,一般采用氧化硅陶瓷制造.为了保证硅锭的纯度,在硅料放入前需在坩埚内表面喷涂一层隔离材料,然后将此材料与坩埚在高温下形成一体.坩埚烧结炉就是将此喷涂物与坩埚烧结起来,形成牢固的隔离层.本文介绍了设计方法,提供了详细设计计算过程,介绍了设备的特点,并结合实际使用情况给出了测试数据.

关键词：多晶硅、铸锭、坩埚、喷涂、烧结炉、实验

所属期刊栏目：38

分类号：TF806.9(有色金属冶炼)

在线出版日期：2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12