快速热处理设备温度稳定性研究

摘要：

以快速热处理设备对温度控制的特殊要求为研究目的,研究温度热惯性对温度稳定性的影响,目的是为解决芯片快速退火和快速合金的稳定性和可靠性,并为设计新快速热处理设备提出串级控制建议.

关键词：温度稳定性、快速热处理设备、热惯性、串级控制

所属期刊栏目：38

分类号：TG155.1(金属学与热处理)

在线出版日期：2009-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-52