多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟

摘要：

研究了多晶硅锭定向凝固过程中晶体和熔体中的温度分布、固液界面的温度场,并对定向凝固过程进行了数值模拟,对热场对多晶硅晶体生长的影响进行了系统的理论分析和试验验证.

关键词：多晶硅锭、定向凝固过程、热场、数值模拟

所属期刊栏目：38

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2009-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-43,46