纳米焦点X射线管和纳米CT检测集成电路封装中的微型互联

摘要：

IC封装中嵌入的微型电路连接可以通过纳米焦点X光光管技术和纳米焦点CT来检测:包括铜或金焊线、堆叠芯片、倒装焊接、微穿孔连接的封装形式.生动地描述了2维3维X射线影像技术,并且呈现了亚微米分辨率的各种分析结果和缺陷案例.

关键词：对准系统、步进光刻机、对准方式、对准模型

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.90(半导体技术)

在线出版日期：2009-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-54