多晶硅清洗设备研究

摘要：

介绍了多晶硅清洗设备,即:硅块、硅棒/硅芯清洗设备.并对其结构设计进行阐述.对设备关键部件-工艺槽、机械臂的设计进行了详细的说明.该设备满足了大规模生产的需要,能够保证产品的品质及生产效率.

关键词：多晶硅清洗、工艺槽、机械臂

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2009-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：43-45